UGA系列大氣分析儀是現階段先進的質譜臺式分析儀,工作壓強范圍從大氣到超高真空,響應時間快,內置雙隔膜泵和渦輪泵,多個毛細管進氣口,自帶windows軟件更加方便進行數據處理和遠程控制。UGA系列的應用包括半導體尾氣檢測...
QMS系列氣體分析儀提供了一種有效的、具有成本效益的高壓氣體檢測的解決方案。這些質譜儀簡化了在線過程監測、氣體種類的分析、泄漏檢測和故障診斷。連續不斷的對氣體進行檢測,流動速率每分鐘幾毫升。進口氣體的壓力從1bar 到1...
PPR過程監控系統是過程監測和診斷的真空檢測儀。兩種不同的進氣路徑提供給殘余氣體分析儀(RGA):一路高壓進氣模式用來檢測基本真空,一路分壓模式用來檢測過程壓力。壓力減少路徑包含一個微小孔徑,其目的是使運行壓力工作在0....
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